차세대반도체연구회

반도체심사과(특허심사 2국) 차세대반도체연구회에서는 심사관들의 최신기술동향에 대한
이해도 제고를 위하여 아래와 같이 외부전문가 초청세미나를 개최하오니 많은 참석 바랍니다.
 
 
-----------------------------  아   래 ----------------------------
■ 일시: 9월 5일(금), 15:00~17:00(120분)
■ 장소: 대전청사 4동 703호(멀티미디어센터)
■ 강사: 최재성 상무(ASML 코리아)
■ 주제:
            차세대 반도체 노광기술로서 극자외선(EUV) 노광
- EUV 노광의 원리, EUV의 상용화를 위한 과제 및 상용 제조공정 투입된 사례 -

참고사항: 강의 자료는 현장에서 배포예정입니다.
--------------------------------------------------------------------