반도체특허마이닝
산화아연박막의 반사방지 처리방법 및 그를 이용한 태양전지 제조방법 |
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| 글쓴이 관리자 2014.02.24 17:09 | 조회수 2010 0 |
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[발명의 명칭] 산화아연박막의 반사방지 처리방법 및 그를 이용한 태양전지 제조방법
[출원인] 한국전자통신연구원
[발명자] 윤선진
[출원번호] 10-2010-0030874
[출원일] 2010년 4월 5일
[IPC] H01L 21/3063
[발명이 이루고자 하는 기술적 과제(목적) 및 효과] 기판 상에 형성되는 다결정 산화아연박막을 식각 용액으로 식각하여 다결정 산화아연박막의 반사율을 최소화할 수 있으며, 질산, 과산화또는 알콜을 포함하는 식각 수용액으로 작은 두께의 다결정 산화아연박막을 식각하고서도 통상의 염산 수용액으로 식각한 후의 반사율 보다 더 낮은 반사율을 얻을 수 있는 효과가 있다. |
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