차세대반도체연구회

[발명의 명칭]

반응부산물 포집장치 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조장치

[출원인]

주성엔지니어링(주)

[발명자]

이명진, 박정호

[출원번호]

10-2007-0047934

[출원일]

2007년 05월 17일

[IPC]

H01L 21/02

[기술분야]

반도체 제조 장치의 반응부산물 포집장치

[종래기술 및 그 문제점]

종래의 포집장치는 완전히 포집되지 않은 반응부산물이 발생하여 배기관이 막히고 펌프의 동작을 방해하거나, 포집성능의 과도한 향상으로 인하여 포집된 반응부산물이 포집장치의 유로를 막고 포집된 반응부산물의 제거에 문제가 발생함

[발명이 이루고자 하는 기술적 과제(목적) 및 효과]

반응부산물의 포집 성능을 유지하면서도 배기가스의 흐름을 원활하게 하고, 포집된 반응부산물을 용이하게 제거할 수 있는 반응부산물 포집장치 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조장치를 제공