차세대반도체연구회

[발명의 명칭]

기판 스피닝 장치의 접촉 지지체

[출원인]

주식회산 케이씨텍

[발명자]

이승환

[출원번호]

10-2014-0096463

[출원일]

2014년 07월 29일

[IPC]

H01L 21/683

[기술분야]

본 발명은 기판 스피닝 장치의 접촉 지지체에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판을 스핀 회전하면서 세정하는 데 있어서 기판 접촉부와 기판의 미끄럼에 의하여 기판을 원활히 회전시키지 못하는 문제점을 해결하는 기판 스피닝 장치의 접촉 지지체에 관한 것임

[종래기술 및 그 문제점]

o 종래기술 : 종래의 기판스피닝 장치에서는 ‘구동모터에 의해 회전되는 회전축의 상단부’에 우레탄 재질의 접촉지지체가 체결볼트에 의해 고정되고, 이 접촉지지체가 기판을 접촉지지한 상태로 회전시키면서 스피닝 공정이 실시되었음

o 문제점 : 종래기술에는 우레탄 재질의 접촉지지체를 회전축에 예정된 자세로 조립하는 것이 곤란하였고, 또한, 장시간 사용시 접촉지지체가 변형되어 기판이 스피닝 공정 중에 상하로 요동하는 문제가 발생하였음.

[발명이 이루고자 하는 기술적 과제(목적) 및 효과]

o 기술적과제 : 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판의 가장자리와 높은 마찰 특성을 유지하는 기판 스피닝 장치의 접촉 지지체를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이에 따라, 본 발명은 기판이 회전 구동되는 접촉 지지체와 미끄럼없이 정확하게 힘이 전달되어, 브러쉬에 의한 접촉 방식의 세정이 행해지더라도, 원형 기판이 예정된 회전 속도로 정확하게 회전 구동되도록 하는 것을 목적으로함

o 효과 : 기판 가장자리와 접촉하는 외측 지지체는 마찰이 높은 가요성 재질로 이루어지고, 회전축과 결합하는 내측 지지체는 플라스틱이나 수지 등으로 경도 및 강도가 높은 단단한 재질로 이루어짐에 따라, 내측 지지체에 의하여 회전축에 대하여 정확한 자세로 조립하여 장시간 동안 사용하더라도 그 자세가 틀어지지 않게 되면서도, 외측 지지체에 의하여 기판의 가장자리와 높은 마찰 상태를 유지하면서 접촉하여 기판의 가장자리의 슬립(slip) 현상을 최소화하면서 확실하게 기판을 수평 회전시킬 수 있는 유리한 효과가 있음

또한, 외측 지지체와 상기 내측 지지체가 서로 맞닿는 면 중 상기 요홈의 내측에 위치하는 부분에 상기 외측 지지체와 상기 내측 지지체 중 어느 하나 이상에 요입부를 링 형태로 형성하여, 상기 내측 지지체와 상기 외측 지지체의 사이에 공간부가 마련됨으로써, 기판을 수평 회전시키는 과정에서 기판 가장자리가 외측 지지체의 요홈의 내부로 밀어내는 힘이 작용하게 되면, 기판 가장자리의 미는 힘에 따라 요홈 주변의 외측 지지체가 공간부를 침투하는 형태로 국부적으로 내측으로 변형하면서 기판 가장자리를 보다 안정되게 수용하면서도, 동시에 외측 지지체의 탄성 복원력에 의하여 외측 지지체와 기판과의 마찰 접촉 상태를 보다 확실하게 유지함으로써, 기판의 수평 회전 시에 기판 가장자리와 접촉 지지체 사이에서 발생되는 슬립 현상을 확실하게 억제할 수 있는 유리한 효과가 있음