차세대반도체연구회

[발명의 명칭]

그래핀 패턴의 제조방법

[출원인]

인텔렉추얼디스커버리 주식회사

[발명자]

양우석, 김형근, 김태영, 권순우, 김예나, 박원규, 장아랑, 신현석, 윤대호, 서광석

[출원번호]

10-2012-0073915

[출원일]

2012. 7. 6.

[IPC]

H01L 21/027

[기술분야]

그래핀 패턴 제조 방법에 관한 기술

[종래기술 및 그 문제점]

전자장치에 그래핀을 구현하기 위해서는 대면적 그래핀 필름 제조를 위한 패터닝 방법 개발이 필요하고, 종래에는 그래핀 패턴 형성 공정에 리소그래피 공정이 활용되어 왔으나 리소그래피 공정은 많은 공정 단계가 요구되고 수율이 낮고, 대면적 제조에 용이하지 않은 문제점 등이 있어 왔음

[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]

o 해결하고자 하는 과제

그래핀 패턴을 보다 간단한 방법으로 용이하게 형성하고, 제조 비용 절감, 대면적 그래핀 패턴 제조에 유리한 그래핀 패턴 제조 방법을 제공하기 위함

o 해결수단

일 실시예로써, ① 그래핀 패턴 제조를 위해 먼저 기판 상에 그래핀을 형성

==> ② 그래핀이 형성된 기판 상에 패턴 형성 지그를 배치

==> ③ 상기 그래핀이 형성된 기판 상에 용액을 공급

==> ④ 상기 용액에서 EISA(Evaporation-Induced Self Assembly, 증발유도 자기조립) 현상이 발생하도록 패턴형성지그를 이송하여 상기 그래핀 상에 용질 패턴을 형성

==> ⑤ 상기 용질 패턴에 대응하여 그래핀 패턴 형성

o 효과

종래의 리소그래피 공정 등의 복잡한 공정들을 이용하지 않으면서도 보다 간단한 방법으로 그래핀 패턴을 용이하게 형성 가능하고, 제조 비용을 절감할 수 있으며, 균일한 그래핀 패턴 형성으로 고품질의 그래핀 패턴을 얻을 수 있고, 대면적 그래핀 패턴 제조에 유리