차세대반도체연구회

[발명의 명칭]

탄소나노튜브 미세배선 형성방법, 이에 의하여 형성된 미세배선기판 및 이 미세배선 제조용 탄소나노튜브 분산용액

[출원인]

한국과학기술연구원

[발명자]

최웅수, 고영건, 오현철

[출원번호]

10-2013-0070550

[출원일]

2013.06.19.

[IPC]

H01L 21/28

[기술분야]

탄소나노튜브 미세 배선을 형성하는 방법, 이에 의하여 형성된 미세배선기판 및 이 기판을 제조하는 용도로 쓰이는 탄소나노튜브 분산용액에 관한 것으로, 탄소나노튜브의 배선이 길게 형성되고, 연결성이 뛰어나며, 미세한 선폭을 구현함과 동시에 상기 배선을 형성하는 시간이 단축된 탄소나노튜브 미세 배선 형성방법에 관한 것

[종래기술 및 그 문제점]

탄소나노튜브를 소자에 응용하기 위해서는 탄소나노튜브를 이용하여 가늘고 긴 배선을 형성하는 기술이 필요한데, 그 동안 충분히 가늘고 긴 탄소나노튜브 배선을 형성하는데 기술적인 한계가 있었다.

그리고 잉크젯 기술의 응용도 시도되고 있는데, 미세 배선 형성시 선폭을 미세하게 구현하는 것이 어려 style="font-family:함초롬바탕">, 용매의 증발로 인해 도선 단면의 중심부분이 충분한 두께로 형성되지 않는 문제점이 있으며, 노광, 식각 및 코팅 등을 반복적으로 수행하는 과정을 거쳐 배선을 형성시키는 방법, 롤투롤 인쇄기법 및 잉크젯 방법 등은 충분한 전기전도도를 가지면서 미세한 배선을 형성시키는 데에는 어려움이 있다.

[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]

본 발명의 목적은 짧은 시간 내에 배선의 길이가 길고, 탄소나노튜브들 사이의 연결성이 뛰어나며, 선폭이 미세한 탄소나노튜브 배선을 형성하는 방법을 제공하는 것이다. 본 발명의 다른 목적은, 긴 배선과 미세한 선폭을 가지면서도 충분한 전기전도도를 가지는 탄소나노튜브가 배열된 기재를 제공하는 것