차세대반도체연구회

[발명의 명칭]

반도체 처리 장치용 전기 히터

[출원인]

디아이텍 주식회사

[발명자]

홍진혁

[출원번호]

10-2015-0028096

[출원일]

2015. 2. 27.

[IPC]

H01L23/324, 21/22

[기술분야]

반도체 처리장치용 전기 히터

[종래기술 및 그 문제점]

근래의 확산로 장비는 공정처리 시간 단축을 위하여 고온으로 가열하는데 걸리는 시간, 균일하게 유지하는 시간 및 대기 상태로 냉각하는데 걸리는 시간을 짧게 하고 있는데, 이러한 공정 조건의 변화는 종형 히터로의 극심한 열선 변형 및 단열블록 크랙을 유발하고 있으며, 이는 종국에 상부 단열블록 파손 및 추락되는 현상을 야기하게 되어 히터 수명을 감소시키는 주요한 요인이 되고 있다.

[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]

열처리 공정 등 반도체 제조에 사용되는 히터에 있어서, 챔버용 히터 내부에 위치되는 단열 블록 표면, 또는 내부에 실리콘 실을 직조형으로 형성한 와이어 메쉬를 매입 고정하고, 히터 뚜껑존은 방사상으로 분할하여 복수의 블록을 형성함으로써 균열 요소를 줄이고, 급격한 온도상승 및 하강에 따른 파손을 방지한다.