차세대반도체연구회

[발명의 명칭]

도어밸브

[출원인]

우리마이크론(주)

[발명자]

박노선, 조창제, 김수철, 김대호

[출원번호]

10-2015-0109014

[출원일]

2015. 7. 31.

[IPC]

H01L 21/677

[기술분야]

본 발명은 이송 챔버와 처리 챔버와 같은 진공 챔버의 개구를 밀폐하기 위한 도어밸브에 관한 것이다.

[종래기술 및 그 문제점]

  일반적으로 도어밸브는 금속으로 제조된다. 이와 같이 금속으로 제조된 도어밸브는 금속 챔버와 금속 대 금속 접촉으로 매우 유용한 기밀효과를 제공할 수 있지만, 금속 대 금속의 접촉은 마찰에 의한 초소형 입자를 생성할 수 있다. 이러한 초소형 금속입자는 챔버 내의 반도체 소자 등을 오염시킬 수 있는 문제점이 있다.

  이러한 오염을 감소시키기 위하여 도어 밸브와 챔버의 마찰지점에 O-링을 구비할 수 있으나 도어밸브는 챔버의 개구를 개폐시키기 위하여 반복적으로 구동하게 되어 O-링 역시 마찰에 의한 마모가 발생하고, 이로 인한 초소형 입자가 발생하게 된다. 또한, O-링의 마모에 의해 도어밸브의 장기간 사용시 밀폐효율이 감소하는 문제점이 있다. 이로 인해, O-링의 마모 정도를 수시로 체크해야 하며, 주기적으로 O-링을 교체해야 하는 번거로움 및 O-링 교체에 의한 비용이 소모되는 문제점이 있다.

[발명이 이루고자 하는 기술적 과제]

첫째, 챔버의 개구를 개폐하기 위한 밀폐판의 구동시 에어튜브가 수축된 상태로 이송됨에 따라 에어튜브가 챔버의 일면과 이격된 상태로 구동되어 에어튜브에 마찰이 발생하지 않음으로써 마찰에 의한 에어튜브의 마모가 발생하지 않는 효과가 있다.

둘째, 밀폐판의 폐쇄 완료 후 에어튜브로 공기를 주입하여 에어튜브를 팽창시킴으로써 챔버의 개구를 용이하게 밀폐시킬 수 있는 효과가 있다.

셋째, 밀폐판의 이송을?결부를 통해 체결함으로써, 에어튜브의 팽창시 밀폐판이 밀려나는 부분이 없이 안정적으로 챔버의 개구를 밀폐시킬 수 있는 효과가 있다.

넷째, 에어제어밸브를 통해 에어튜브의 공기 주입량 및 배출량을 제어할 수 있으므로 에어튜브를 안정적으로 팽창 및 수축시킬 수 있는 효과가 있다.

다섯째, 에어튜브의 마모가 발생하지 않기 때문에 에어튜브의 교체 없이 반영구적으로 사용이 가능한 효과가 있다.