차세대반도체연구회

반도체 테스트용 장비, 첨단 국산 장비가 선도한다 - MEMS 프로브 카드 특허출원 동향 -  국산 반도체 테스트 장비, 세계적 수준으로 두각 o 차세대 반도체 테스트장비인 국산 MEMS 프로브 카드가 기존 제품에 대한 교체수요, 반도체 생산량의 증가 및 LCD 생산업체의 투자확대로 2004년 상반기 200% 이상의 매출 성장률을 기록하면서, 외국업체와 대등한 경쟁을 펼치고 있다. o MEMS 기술을 활용한 프로브 카드는 국내업체가 핵심특허를 보유하고 있고 제품화에 성공한 기술로, 첨단기술이 상품화된 성공적인 사례라 할 수 있다. * 국내 MEMS 프로브 카드 기술은 100대 우수특허(특허청, ‘02년), 장영실상(과학기술부, ’03년)을 수상  MEMS 프로브 카드란 o 프로브 카드(probe card)는 반도체, 디스플레이의 제작 도중 또는 후에 성능을 테스트하기 위해 웨이퍼와 테스트 장비를 연결시켜주는 장치로, MEMS 프로브 카드는 MEMS기술을 활용한 초미세 탐침을 배열한 조립체이다. * MEMS(Micro Electro Mechanical System : 초정밀 전자기계) : 반도체공정기술과 미세가공기술을 이용해 실리콘 기판(웨이퍼)를 수 μm 수준의 초미세 구조물이나 장치 등을 제작하고 시스템화하는 기술 o MEMS 기술을 활용함에 따라 웨이퍼 레벨로 프로브 카드를 만들 수 있어 기존의 수동으로 조립하던 기술에 비하여 테스트 시간과 비용을 1/4 이하로 대폭 줄일 수 있게 되면서, MEMS 프로브 카드가 기존 프로브 카드를 급속히 대체할 것으로 예상되고 있다.  프로브 관련 시장 및 특허 출원 동향 o 현재 전세계 프로브 관련시장 규모는 7억불 규모로서 2008년에는 10억불을 상회할 것으로 예측된다. ▪ 이 중 MEMS 카드 등 차세대 프로브 카드가 차지하는 비중이 전체시장의 40%를 차지하고 있으며, 향후 연간 20~30%의 고도성장이 예상되며, ▪ 국내업체의 국내 시장점유율은 40%, 세계 시장점유율은 10% 정도이나, 최근 들어 점유율이 급격히 상승하고 있다. o MEMS 프로브 카드 관련 특허는 1998년에 처음으로 3건이 출원되기 시작하여 2003년까지 총 34건이 출원되었다. ▪ 초기에는 외국인 출원이 주류였으나, 2003년도에는 60%이상을 내국인이 출원하고 있으며, 향후에도 MEMS 관련 시장규모가 커지면서 국내 업체의 출원이 증가할 것으로 전망된다. < 첨부 > MEMS 프로브 카드