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ALD 공정 기술 개요 |
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| 글쓴이 최정식 2006.11.28 00:00 | 조회수 1822 0 스크랩 0 |
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ALD 증착법은 종횡비가 큰 패턴도 균일하게 매립할 수 있는 박막 형성 방법으로,
소자의 미세화에 따라 점점 주목받고 있는 기술입니다.
첨부는 ALD를 중심으로 나노 공정을 리뷰한 것으로,
대략적인 내용을 파악하는 데에 도움이 될 것입니다.
* 첨부화일 내용을 보기 위해서는 EIC에 회원 가입이 되어 있어야 합니다. (회원 가입 무료)
http://www.eic.re.kr 참조
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