기술동향자료실
반도체 웨이퍼 CMP용 패드관련 국내특허 출원동향 |
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| 글쓴이 이상민 2007.02.13 00:00 | 조회수 1847 0 스크랩 0 |
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통계자료는 2002년부터 2006년까지 특실검색을 이용하여 찾은 자료입니다.
검색어로는 발명의 명칭, 요약, 청구범위에서 CMP, 연마, 패드, 제조 등의 단어를 조합하여
검색해 보았습니다.
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