차세대반도체연구회

- 메모리용 실리콘 웨이퍼 - 실리콘웨이퍼(silicon wafer)는 모래, 암석, 광물 등의 형태로 존재하는 실리콘을 원재료로 하여 생산되는 결정실리콘 박판으로서 마스크(mask), 리드프레임(lead x-frame)과 함께 반도체 소자의 3대 핵심원재료를 구성하며, 반도체 총 제조원가의 25%를 차지하고 있다. 이러한 실리콘웨이퍼는 순도 99.9999%의 단결정(單結晶) 규소를 얇게 잘라 표면을 매끈하게 다듬어 반도체 기판재료로 사용하는 것으로, 웨이퍼의 표면은 결함이나 오염이 없어야 함은 물론, 회로의 정밀도에 영향을 미치기 때문에 고도의 평탄도가 요구된다. 이 실리콘웨이퍼는 조립한 후에 검사가 끝나면 개별 칩으로 잘려져서 완성된 집적회로로 사용된다. 최근에는 두께 0.3㎜, 지름 15㎝의 원판 모양의 것이 사용되고 있지만, 집적회로 제작기술의 진보와 더불어 실리콘웨이퍼의 지름은 커져서, 앞으로는 지름이 30㎝이상이 보편화 될 것으로 예상된다. 실리콘웨이퍼는 금액기준 국내 반도체재료 수요시장의 약 30%를 차지하여 두번째로 높은 수요비중(15%)을 보이는 리드프레임 시장의 2배에 이른다. 웨이퍼수요는 전방수요산업인 반도체경기에 의해 직접적인 영향을 받고 있으며 반도체 산업 성장률과 유사한 성장률을 보이고 있다. 웨이퍼 산업은 2001년 이후 반도체경기의 위축 및 제품가격 하락으로 부진을 보이다 2003년 하반기 이후 통신용 반도체 및 pc산업의 회복세에 힘입어 웨이퍼 산업도 회복 중에 있다. (목차) 제1장 서론 제2장 기술동향 및 전망 1. 기술의 개요 가. 실리콘웨이퍼 개요 나. 웨이퍼의 종류 다. 웨이퍼 특성 라. 웨이퍼 제조공정 2. 연구개발동향 가. 해외 연구개발 동향 나. 국내 연구개발 동향 다. 전망 제3장 기술특허정보 분석 1. 분석의 범위 및 방법 2. 국내 특허동향 가. 연도별 출원현황 나. 출원인별 출원현황 3. 해외 특허동향 가. 미국 나. 일본 다. 유럽(ep) 4. 비교분석 제4장 시장동향 및 전망 1. 산업동향 가. 해외 시장 나. 국내 산업동향 2. 시장동향 및 전망 가. 세계시장 나. 국내 제5장 결론 <참고문헌>