기술동향자료실
산화공정의 기초적 이해 |
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| 글쓴이 관리자 2006.03.31 00:00 | 조회수 2076 0 스크랩 0 |
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1. 산화공정 개요
2. 산화 반응 속도론
3. 산화 공정에 영향을 주는 인자들
4. 산화막의 성질
5. 급속 열산화막
6. 산화막의 응용
7. 참고문헌
*관리자주: 2006년 반도체심사팀 신규전입자를 대상으로한 반도체 공정 기본 교육 교재입니다.
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