기술동향자료실
어플라이드, 3D 반도체용 CMP·CVD 장비 출시 |
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| 글쓴이 관리자 2014.07.17 15:22 | 조회수 1891 0 |
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반도체·디스플레이 장비업체 어플라이드머티어리얼즈는 3D 반도체 공정을 위한 장비 2종 '어플라이드 리플렉션 LK 프라임 CMP'와 '어플라이드 프로듀서 XP 프리시젼 CVD'를 출시했다고 8일 밝혔다.
어플라이드 리플렉션 LK 프라임 CMP 시스템은 화학기계적연마(CMP) 장비로 핀펫(FinFET)과 3D 낸드플래시 공정을 위한 나노미터급의 정밀도와 우수한 웨이퍼 연마성능을 지원하는 것이 특징이다.
http://www.zdnet.co.kr/news/news_view.asp?artice_id=20140708173211 |
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