차세대반도체연구회

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반도체협회, 국제표준 한글본 최초 발간 오은지기자 | onz@etnews.com 2013.08.22 한국반도체산업협회(KSIA, 회장 전동수)는 `차세대 반도체 장비 및 소자의 표준화 기술개발 사업` 일환으로 국제반도체장비재료협회(SEMI)와 공동으로 국제 표준 한글본을 발간했다고 22일 밝혔다. 그동안 반도체 업체 개발자들이 영문 표준을 그대로 사용하면서 정확한 이해도가 떨어지고 이를 활용하는 것도 불편했다. 오적용하는 경우도 있었다. KSIA는 한국 정보 및 제어 기술위원회(Korea Information & Control Technical Committee)에 의뢰해 SEMI의 표준 가운데 국내 반도체 업계에서 활용도가 높은 9개를 선정해 한글화했다. 자주 쓰이는 국제표준은 추가로 선정해 한글화 작업을 지속할 계획이다. 표준화 기술 개발 사업은 지난 2008년부터 산업통상자원부(옛 지식경제부) 산업융합원천기술개발사업 중 하나로 추진됐다. 이같은 노력 덕분에 지난달 국내에서 제안한 반도체 제조 공정자동화에 관한 표준 `E94` 개정안이 국제 표준으로 채택됐다. 지난 1월 반도체 장비간 통신 소프트웨어 기술표준(SEMI E5-0712)에 이어 두 번째다. E94 표준은 수율·생산성에 직접 영향을 주는 부품(캐리어)을 바꿀 때 제약 조건을 바꿔 불필요한 대기시간을 단축시켜주는 기술이다.