차세대반도체연구회

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디지털 노광장비 기술개발 워크숍 열려 정현정 기자 iam@zdnet.co.kr 2013.04.11 산업통상자원부가 지원하고 한국디스플레이연구조합이 주관해 추진 중인 ‘디지털 노광장비 핵심기술개발’ 과제의 최종 진도점검 워크샵이 11일부터 이틀 간 제주도 서귀포 KAL호텔에서 개최된다. 이번 워크숍은 반도체 및 디스플레이 산업의 핵심 생산기술이지만 국내 자립도가 매우 낮은 노광(리소그래피) 장비기술 및 공정기술의 기초 원천 기술을 공유하고 관련 산·학·연 공동연구 활성화를 위해 ‘제 2회 리소그래피 학술대회’ 개최기간 중 진행된다. 디지털 노광 장비핵심기술 개발 과제는 전량 일본 수입에 의존하고 있던 노광기의 국산화를 위해 시작됐으며 선행 기업의 특허 회피를 위해 마스크가 필요없는 디지털 방식으로 개발이 추진됐다. 지난 2008년 12월부터 오는 2013년 9월까지 약 5년간 정부출연 212억원과 민간 198억원 등 총 410억원이 투입된다. 지난 2008년 12월부터 2011년 9월까지 진행된 1단계 과제를 통해 2세대급 디지털 노광장비 개발을 완료했으며 이를 기반으로 2011년 10월부터 2년 간 진행되는 8세대급 장비 개발을 위한 막바지 작업에 박차를 가하고 있다. 이번 워크숍에서는 리소그래피 관련 3개 분야 국책과제 기술개발 현황 공유하고 관련 분야 논문 발표 및 포스터 전시가 진행된다. 또 과제의 실적 점검 뿐만 아니라 향후 대량 양산성을 갖출 수 있는 후속 과제 추진 등에 대해서도 논의의 자리가 마련될 예정이다. 디스플레이연구조합은 “이번 과제가 산·학 및 대·중소기업 협력뿐만 아니라, 디스플레이 업계 양대 기업인 삼성과 LG의 대·대 기업 협력 컨소시엄을 통한 기술 개발로 국내 상생협력 대표과제로 선정되는 등 산·학·연·관 전반에 걸쳐 많은 관심을 받은 만큼 끝까지 상생을 통해 성공적으로 과제를 수행할 예정”이라고 밝혔다.