차세대반도체연구회

본문보기

AMT, 도시바에 반도체 공정 효율화 SW 공급 [매일경제 / 최용성 기자 2011.10.05 ] 　글로벌 반도체·태양광 장비기업 어플라이드머티어리얼즈는 일본의 낸드 플래시 메모리업체 도시바에 반도체 회로 패턴을 웨이퍼에 인쇄하는 리소그래피 공정의 효율성을 높이는 소프트웨어 `SmartSched`를 공급한다고 5일 밝혔다. 　어플라이드머티어리얼즈는 "반도체 공장 가운데 가장 복잡하고 비용이 많이 들며 웨이퍼가 밀집되는 병목 현상이 자주 발생하는 리소그래피 공정에서 웨이퍼 움직임을 최적화하는 업계 최초의 상용 예측 기반 스케줄 솔루션"이라고 설명했다. 　이 제품은 일본 혼슈 미에현 요카이치에 있는 도시바 반도체 제조 시설 팹4에 적용된다. 팹4는 낸드 플래시 메모리 반도체용 300㎜ 웨이퍼 생산 라인이다.