차세대반도체연구회

(요약) 본 보고서에서는 PFC의 처리를 위한 다양한 기술들에 대해 정리해 보고, 그 중 플라즈마를 사용한 PFC 처리 기술에 관련된 각국의 특허동향을 분석해 보기로 한다. (내용) - 플라즈마를 이용한 PFC 처리분야 특허동향 - 1. 서론 2. PFC의 저감방법 가. PFC의 대체물질 또는 대체 공정개발 나. PFC의 효율적 사용 다. PFC의 회수 및 재사용 라. 배출된 PFC의 처리 3. PFC의 처리방법 가. 산화법 나. 촉매 산화법 다. 플라즈마 분해법 라. 약제 처리법 마. 흡착 제거법 바. 저온 냉동법 4. 특허동향 가. 플라즈마를 사용한 PFC 처리기술의 한국 특허동향 나. 플라즈마를 사용한 PFC 처리기술의 미국 특허동향 다. 플라즈마를 사용한 PFC 처리기술의 일본 특허동향 5. 결어 * 출처: 정보통신연구원