차세대반도체연구회

(요약) 반도체 회로를 기판상에 묘화하는 공정을 노광공정이로 한다. 노광장치는 광을 출력하는 조명계, 수차를 잡아 접속하는 렌즈계, 웨이퍼를 정밀하게 고속으로 구동시키는 스테이지로 이루어지는 고도의 반도체 제조장치이다. 조명계에서 나온 광은 렌즈를 통해서 수차가 보정되고 접속되어서 회로패턴을 그린 노광마스크를 통하여 기판상에 도포된 레지스트에 조사된다. 여기에서는 반도체 제조장치인 노광장치의 기본적인 사항과, 종류 등에 대해서 검토해 보기로 한다. (내용) - 반도체 제조의 노광장치 (기초) - 노광장치의 구성과 역할 미세화의 열쇠를 잡고 있는 3요소 시장환경과 경쟁상황 첨단노광장치의 시장전망 2회 노광 EUVL 나노 프린트 노광장치시장의 중기전망 * 출처: Semiconductor&FPD Monthly (200809)