차세대반도체연구회

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웨이퍼는 원재료에 따라 실리콘(Silicon)웨이퍼, 게르마늄(Ge)웨이퍼, 갈륨비소(GaAs)웨이퍼 등으로 구분된다. 이중 광범위하게 사용되고 있는 실리콘 웨이퍼는 다결정의 실리콘을 원재료로 하여 만들어진 단결정 실리콘 박판을 말한다. 실리콘은 일반적으로 산화물실리콘으로 모래, 암석, 광물 등의 형태로 존재하여 이들은 지각의 1/3정도를 구성하고 있어 지구상에서 매우 풍부하게 존재하고 있으며 반도체 산업에 매우 안정적으로 공급될 수 있다. 독성이 전혀 없어 환경적으로 우수한 재료이다. 웨이퍼는 반도체 소자의 핵심 원재료로서 반도체 총 제조원가의 1/4정도를 차지하며, 특히 실리콘 웨이퍼는 표면에 산화물 절연막을 쉽게 형성 시킬 수 있는 장점을 가지고 있다. 실리콘 웨이퍼는 직경, Dopant 종류, 결정성장 방향, 추가공정에 따라 분류된다. 제 1장 서론 1 제 2장 기술동향 및 전망 2 1. 기술의 개요 2 2. 기술의 특성 3 가. 웨이퍼의 종류 3 나. 결정성장 방법 5 다. 웨이퍼의 특징 6 라. 웨이퍼 대구경화를 위한 공정 제어 8 3. 기술의 연구개발 동향 11 가. 해외 연구개발 동향 11 나. 국내 연구개발 동향 13 다. 비교분석 14 라. 전망 및 파급효과 16 제 3장 시장 동향 및 전망 17 1. 산업동향 17 가. 실리콘 웨이퍼 동향 17 나. 태양광 발전용 폴리실리콘 20 2. 시장동향 및 전망 22 가. 반도체 소자 22 나. 반도체 장비 25 다. 태양전지용 반도체 28 제 4장 결론 30 <참고문헌> 31