차세대반도체연구회

(요약) 자외선(Ultra Violet, UV)은 약 397~10nm에 이르는 파장으로 된 전자기파의 총칭으로써 1801년 독일의 화학자 J. W. 리터에 의해 발견된 이래, 다양한 부분에서 이용되어 오고 있다. 현재는 UV가 갖는 살균 작용, 화학, 생리작용 및 형광작용을 이용한 적용분야가 확대되어 감에 따라 다양한 형태의 자외선램프가 개발, 사용되고 있다. 자외선은 그 파장 영역에 따라 UVA(320~400nm), UVB(280~320nm), UVC(200~280nm) 및 UVV(100~200nm)등 으로 나뉘며, UVA는 선태닝(suntanning)을 하거나 광촉매가 활성화 될 수 있는 에너지원으로 주로 사용되고, UVB는 피부병 치료 및 기상학 장비 등에 주로 사용되며, UVC는 오존 파괴용 및 소독용으로 UVV는 반도체 산업의 초순수 제조공정에서 미량의 유기물질을 제거하는데 주로 유용하게 사용되고 있다. 자외선램프는 크게 제품용도에 따른 분류와 압력에 따른 분류로 나뉜다. 제품용도에 따른 분류는 생산하는 제품마다 적용되는 자외선의 파장대가 다르다. 예를 들어 경화용 램프는 365~420nm의 자외선이 필요하며 UV 경화용 수지, 잉크, 접착제등을 경화시킨다. 압력에 따른 분류는 램프가 켜져 있을 때의 램프 내부압력을 기준으로 분류한 것으로 저압(약 1~2 kgf/cm2), 중압(약 2~3kgf/cm2), 고압(약 5~10kgf/cm2) 및 초고압(50kgf/cm2 이상) 으로 통상적으로 분류된다. 자외선램프들은 자외선의 용도에 따라 다양한 분야에서 활용되고 있는데, 우선 살균 작용을 이용한 분야를 살펴보면 250nm부근의 파장을 가진 자외선은 큰 살균력을 가지고 있어서 1cm2 당 100μW의 강도를 가진 자외선을 1분간 조사하면 대장균, 디프레아균 및 이질균이 99%가 죽는다는 실제 효과를 바탕을 두고 있으며, 파장이 325~290nm 범위의 자외선은 화학, 생리작용을 일으킴으로써 체내의 에르고스테롤(프로비타민 D2)가 비타민 D2로 변환 될 수 있다는 근거에 바탕을 두고 있고, 자외선이 가시광선보다 파장이 짧아 형광작용, 광전작용이 강할 뿐만 아니라, 가시광선과는 다른 반사율을 갖는다는 점을 이용한 보석류의 감정 및 고문서의 감정이나 범죄수사 등에 이용되고 있다. 또한 UVV(진공자외선)은 파장이 너무 짧아 흡수성이 높고 투과력이 매우 낮을 뿐만 아니라 185nm의 파장은 산소를 오존으로 바꾸는 성질이 있기 때문에 저농도 오존 발생 및 반도체 산업에서는 초순수 제조공정에서 미량의 유기물을 제거하는데 이용되기도 한다. 본 보고서에서는 상기와 같이 자외선램프 관련 기술의 동향 파악을 위하여 국내외 특허검색을 통해 각 국가별 특허출원 동향, 주요 출원인 동향 및 최근의 특허 동향을 집중적으로 살펴보고, 이를 기준으로 기술개발 동향을 분석하는데 그 목적을 둔다. (내용) Ⅰ 서론 Ⅱ 기술동향 및 전망 1. 기술개요 - 자외선램프 및 응용 기술 일반 2. 기술개발 동향 3. 기술개발 전망 Ⅲ 특허정보분석 1. 분석의 범위 및 방법 2. 자외선램프 관련 특허출원 동향 가. 특허출원 동향 (1) 전체 특허출원 동향 (2) 자외선램프 관련 기술의 국가별 특허출원 동향 (3) 자외선램프 관련 기술의 연도별 특허출원 비율 나. 국가별 출원인별 특허동향 (1) 한국의 주요 출원인 동향 (2) 미국의 주요 출원인 동향 (3) 일본의 주요 출원인 동향 (4) 유럽의 주요 출원인 동향 다. 최근 주요특허출원 동향 Ⅳ 결론 참고문헌 * 출처: 부품소재종합정보망