기술동향자료실
포토리소그라피의 분해능향상기술(RETs) |
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| 글쓴이 부경호 2008.10.17 00:00 | 조회수 1937 0 스크랩 0 |
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IEEE spectrum 저널에 실린 아티클입니다.
작은 파장의 광원을 쓰지 않고 포토공정의 분해능을 높이는 방법(RET;Resolution enhancement technique)에 대한 글입니다.
-OPC(Optical phase correction)
-PSM(Phase shift mask)
-Off-axis illumination
여기외에는 추가로
- double patterning
- Immersion technique 등이 있습니다.
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