차세대반도체연구회

(요약) 인류는 지금까지 산업혁명과 전자혁명이라는 두 차례의 기술혁명을 거치면서 기계산업과 전자산업의 급속한 발전에 따른 산업경제적 환경변화를 경험해 왔으며, 근래 들어 과학기술의 발전이 인류의 삶과 사회문화적 활동에 미치는 영향의 폭과 깊이가 날로 증대되고 있다. 산업혁명의 과학기술적 원동력이 다양한 형태의 에너지를 기계적 동력으로 변환시킬 수 있는 고효율 고강도 기계기술에 있었다면, 전자혁명의 원동력은 전기에너지를 동력매체가 아닌 정보매체로 활용할 수 있는 고속 저가 전자기술에서 기인하였다고 볼 수 있다. 이러한 역대 기술혁명의 연장선상에서 볼 때, 미래 제3의 기술혁명의 과학기술적 원동력은 다양한 형태의 정보매체를 고속, 고정도, 대량으로 다룰 수 있는 고성능 복합정보제품의 저전력화 및 저렴화 기술에서 기인할 것으로 예견된다. 최근 기술선진국의 연구개발 역시 이러한 미래산업적 기술요구에 부응하기 위해 고부가가치 첨단제품의 경박단소화 기술개발에 집중하고 있으며, 이는 미래 지식사회가 요구하고 있는 복합정보제품의 크기 극미세화를 통하여 제품의 성능, 용량 및 가격 경쟁력의 향상은 물론 이에 소요되는 에너지와 자원의 경제적 활용을 동시에 추구할 수 있기 때문이다. 미래 고성능 복합정보제품 개발에 필연적으로 요구되는 과학기술은 극미세 영역에서의 다양한 정보매체의 활용기능(즉, 기계, 열유체, 전기, 광파, 생화학적 나노정보매체의 감지, 처리, 분석, 표시, 저장 및 전달 기능)의 고성능화, 저렴화, 저전력화 기술이다. 전기적 나노정보매체(즉 전자와 정공)의 활용을 위한 나노전자소자의 개발은 20세기 전자혁명의 원동력이었던 집적회로 및 반도체기술을 기반으로 빠른 속도로 진행되고 있으며, 최근 NEMS(Nano Electro Mechanical Systems)기술 분야에서는 전기적 나노정보매체 이외 기계, 열유체, 광파, 생화학적 나노정보매체를 다루기 위한 복합정보소자에 관한 연구도 활발히 추진되고 있다. 이처럼 다양한 형태의 나노정보매체를 다루기 위한 NEMS기술은 극미세 영역에서 새로이 발견되는 나노과학적 지식과 나노구조의 제작을 위한 나노공정기술과의 결합을 통해, 미개척과학기술 영역에서의 도전적인 신기술을 창출함과 동시에 향후 21세기 지식기반시대가 필요로 하는 고부가가치 복합정보제품의 극미세화 개발에 관한 새로운 기술혁명의 가능성을 제시하고 있다. 본 보고서에서는 NEMS 기술의 개요와 특성을 소개하고, 관련 소자기술과 공정 및 장비기술에 대한 전반적인 현황을 살펴본 후, 국내외 기술과 시장의 현황을 살펴봄으로써 관련 분야의 전반적 기술동향을 파악하고자 한다. (내용) 제1장 서 론 제2장 기술동향 및 전망 1. 기술의 개요 2. 연구개발동향 가. NEMS 소자기술의 응용산업별 개발동향 나. NEMS 공정 및 장비기술 개발동향 3. 향후 발전방향 가. NEMS 소자기술 나. NEMS 공정기술 제3장 시장동향 및 전망 1. 해외시장 동향분석 가. 시장현황 및 전망 나. 업체동향 2. 국내시장 동향분석 가. 시장현황 및 전망 나. 업체동향 제4장 결론 <참고문헌> * 출처: 한국과학기술정보연구원