차세대반도체연구회

(요약) MEMS 디바이스는 민생이나 자동차 또는 바이오 의료, 환경, 방재 에너지 등 다양한 분야에 있어서 그 기대되는 용도가 비약적으로 확대되고 있다. 주로, 센싱기술에 응용되고 소형, 경량화를 가능하게하고 고 정밀도의 센서소자를 실현할 수 있게 한다. 또한, IC와의 융합으로 고부가가치 상품의 창출이 가능하고, 고품질, 저소비전력, 소형, 경량에 더해 안전, 환경, 쾌적한 고기능화, 고집적화의 흐름을 보다 가속화하고 있다. 여기에서는 저가격화, 적절한 시장검토에 대한 요구와 함께, 그것이 기대하는 8인치용 MEMS 웨이퍼 기술개발도 소개하면서 MEMS 디바이스 동향과 과제를 전망해 본다. (내용) II. MEMS 디바이스의 신시대 1) 단제품수명, 대량생산대응 2) 코스트 저감 3) 8인치화 III. MEMS 기술과 시장동향 1. 개요 2. MEMS 3. MEMS 시장동향 4. 결론 * 출처: Semiconductor & FPD Monthly 200803