기술동향자료실
증착장치-CVD and PVD |
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| 글쓴이 오창석 2007.09.11 00:00 | 조회수 2287 0 스크랩 0 |
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H01L 21/203(CVD 증착 장치 및 방법)은 막을 증착하는 장치가 주요 출원량을 차지하며, 그 장치에 의한 방법이 동시에 청구되는 경우가 많이 있음. CVD 증착의 기본이해와 원리에 대해서 기재하였고 유용한 선행기술을 정리하였음.
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