차세대반도체연구회

(요약) 나노박막은 반도체, 디스플레이, 코팅 및 MEMS/NEMS 구조물들에 있어서 기본 구성 요소이기 때문에 그 중요성이 날로 더해가고 있다. 따라서 이들 산업 분야에서 경쟁력을 갖추기 위해서는 시행착오적인 생산 방식에서 탈피하여 다양한 물성 확보, 해석에 기초한 설계, 시제품 생산, 시험 평가, 재설계, 양산, 신뢰성 평가에 이르는 전 과정을 거쳐야한다. 박막 물성 평가법은 이와 같은 과정의 출발점에 위치해 있으며, 실제 구조물을 형성하고 있는 박막과 동일한 공정 및 크기로 시험편을 제작하여 설계에 필요한 물성 값들을 얻는 것이 이상적이다. 21 세기 국가경쟁력의 시금석이 될 나노기술에 필요한 측정기술은 대상체의 크기나 두께 등과 같은 물리적인 양을 측정하는 형상 측정기술과 물성 측정 등으로 구분할 수 있으며, 본 고에서는 특히 나노 박막 및 구조물의 기계적 물성 측정기술에 대한 연구개발동향과 정보분석을 중심으로 기술하였다. (내용) 1. 서론 2. 기술동향 2.1 나노압입시험법 2.2 굽힘시험 및 벌지시험(Bulge Test) 2.3 인장시험 2.4 MEMS (Microelectromechanical Systems)에 기반을 둔 실험방법 2.5 Nanoscale 나노튜브와 나노와이어 측정방법들 3. 정보분석 3.1 정보분석 대상 DB와 검색조건 3.2 통계분석 3.2.1 연도별 추이분석 3.2.2 국가별 분석 3.2.3 주요기관 분석 3.2.4 연구자 분석 3.3 네트워크 분석 3.3.1 공동 연구자 네트워크 3.3.2 공동 연구기관 네트워크 4. 선진국 기술수준 비교분석 참고문헌 * 출처: 한국공업화학회