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º¸µµÀÚ·á - º¸µµÀÚ·á: ±¹¹ÎÀÇ ¾Ë±Ç¸®¸¦ À§ÇÏ¿© ´õ ¸¹Àº Á¤º¸¸¦ Åõ¸íÇÏ°Ô º¸¿©µå¸®°Ú½À´Ï´Ù.

Æ÷Åä´º½º, º¸µµÀÚ·á, Á¤Ã¥Á¤º¸, ´º½º·¹ÅÍ ÅÇ


Æ®À§ÅÍ¿¡ 10³ª³ëÀÇ º®, ±ØÀڿܼ±(EUV)À¸·Î ¶Õ´Â´Ù °øÀ¯ÇÏ±â  ÆäÀ̽ººÏ¿¡ 10³ª³ëÀÇ º®, ±ØÀڿܼ±(EUV)À¸·Î ¶Õ´Â´Ù °øÀ¯ÇÏ±â  ³×À̹ö¹êµå¿¡ 10³ª³ëÀÇ º®, ±ØÀڿܼ±(EUV)À¸·Î ¶Õ´Â´Ù °øÀ¯ÇÏ±â  Ä«Ä«¿À½ºÅ丮¿¡ 10³ª³ëÀÇ º®, ±ØÀڿܼ±(EUV)À¸·Î ¶Õ´Â´Ù °øÀ¯Çϱâ
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´ã´çºÎ¼­ ¹ÝµµÃ¼½É»ç°ú(»ç¹«°ü °è¿øÈ£) ¿¬¶ôó 042-481-8375
ÀÛ¼ºÀÏ 2020-11-12 Á¶È¸ 742
10³ª³ëÀÇ º®, ±ØÀڿܼ±(EUV)À¸·Î ¶Õ´Â´Ù. 
- ¹ÝµµÃ¼ ±ØÀڿܼ± ³ë±¤±â¼ú ¿ì¸® ±â¾÷¤ýÇа蠼±Àü - 

# ¾ËÆÄ°í(AlphaGo)¿Í °°Àº Çõ½ÅÀûÀΠÀΰøÁö´É(AI)ÀǠź»ýÀº ´õ ºü¸£°í, º¸´Ù ÁýÀûµÈ °í¼º´É¤ýÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶±â¼úÀÌ À־¡´ÉÇÏ¿´´Ù. ³ë±¤±â¼ú(Photo-Lithography)Àº ÀÌ·¯ÇÑ °í¼º´É¤ý ÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼¸¦ Á¦Á¶Çϱâ À§ÇØ ±¤(ÎÃ)À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ±âÆÇ¿¡ ¹Ì¼¼ÇѠȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®´Â Çٽɠ±â¼úÀÌ´Ù.  

# ±¤ÀÇ ÆÄÀåÀ̠ªÀ»¼ö·Ï, ¹ÝµµÃ¼ È¸·Î¸¦ ´õ ¹Ì¼¼Çϱ⠱׸± ¼ö Àִµ¥, À̴ 0.7¹Ì¸®(mm) »þÇÁº¸´Ù´Â 0.3¹Ì¸® »þÇÁ·Î ¾µ ¶§ º¸´Ù ¼¼¹ÐÇÑ ±Û¾²±â°¡ °¡´ÉÇÑ °Í°ú °°Àº ÀÌÄ¡ÀÌ´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î, ¹ÝµµÃ¼ È¸·ÎÀÇ ¼±ÆøÀ» ¹ÝÀ¸·Î ÁÙÀ̸頴ÜÀ§ ¼ÒÀÚÀÇ ¸éÀûÀº 1/4·Î ÁÙ°Ô µÇ¾î µ¿ÀÏ ¸éÀû¿¡¼­ 4¹è ¸¹Àº ¼ÒÀÚ¸¦ Á¦Á¶ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç Àü±â ¹è¼±ÀÇ ±æÀ̵µ ÁÙ°Ô µÇ¹Ç·Î, ´õ ³·Àº ¼ÒºñÀü·ÂÀÇ °í¼º´É¤ýÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼ÀÇ »ý»êÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. 

# ±âÁ¸ ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF) ·¹ÀÌÀú ±¤À» ÀÌ¿ëÇϴ °æ¿ì, ¾×ħ ¹× ´ÙÁ߳뱤 ±â¼úÀ» Àû¿ëÇØµµ ¼±Æø 10³ª³ë(1nm´Â 10¾ï ºÐÀÇ 1m)ÀÌÇÏÀÇ ÆÐÅÏÀÇ º®À» ³Ñ´Âµ¥ ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖ¾ú´Ù.  

# EUV(Extreme Ultra-Violet) ³ë±¤±â¼úÀº ºÒÈ­¾Æ¸£°ï ·¹ÀÌÀúº¸´Ù 1/10 ¹Ì¸¸ÀǠªÀº ÆÄÀåÀ» °®´Â ±ØÀڿܼ±À» ÀÌ¿ëÇÏ¿© ¹ÝµµÃ¼ È¸·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®´Â °ÍÀ¸·Î, 10³ª³ë ÀÌÇÏ Ãʹ̼¼ È¸·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®±â À§ÇØ ÇʼöÀûÀÌ´Ù. 

# EUV ³ë±¤±â¼úÀº ´ÙÃþ ¹Ì·¯, ´ÙÃþ ¸¶½ºÅ©, Æç¸®Å¬, ±¤¿ø, ·¹Áö½ºÆ® µî °íµµÇÑ ±â¼úÀÇ Áý¾àü·Î¼­, Áö³­ 10¿© ³â°£ »ï¼ºÀüÀÚ¸¦ ºñ·ÔÇÑ ±Û·Î¹ú ±â¾÷µéÀÌ ±â¼ú ¼±Á¡À» À§ÇØ Ä¡¿­ÇÑ ¿¬±¸ °³¹ßÀ» ÇØ¿ÔÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù 7³ª³ë¸¦ ³Ñ¾î¼­, 5³ª³ë ½º¸¶Æ®Æù¿ë ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ǠÇÁ·Î¼¼¼­(AP)ÀÇ ¾ç»ê¿¡ Ã³À½ Àû¿ëµÇ¾ú´Ù. 

ƯÇãû(ûÀå ±è¿ë·¡)ÀÇ ÃÖ±Ù 10³â°£(¡®11³â ~ ¡¯20³â), EUV ³ë±¤±â¼úÀǠƯÇãÃâ¿ø ºÐ¼®¿¡ ÀÇÇϸé, ¡®14³â 88°ÇÀ» Á¤Á¡À¸·Î ¡¯18³â 55°Ç, ¡®19³â 50°Ç µîÀ¸·Î ³ªÅ¸³µÀ¸¸ç, Æ¯È÷ ¡¯19³âºÎÅʹ ³»±¹ÀÎÀÇ Ãâ¿øÀÌ ¿Ü±¹ÀÎÀÇ Ãâ¿ø °Ç¼ö¸¦ ¾Õ¼­°Ô µÇ¾î, ±¹³» ±â¼úÀÌ ¼ºÀå±â¿¡ Á¢¾îµé°í Àִ °ÍÀ¸·Î ºÐ¼®µÇ¾ú´Ù. [ºÙÀÓ 1] 

±â¾÷º°·Î´Â Ä®Â¥À̽º(Ô¼) 18%, »ï¼ºÀüÀÚ 15%, ASML(ûú) 11%, ¿¡½º¿£¿¡½ºÅØ(ùÛ) 8%, TSMC(Óæ) 6%, SKÇÏÀ̴нº 1%·Î 6´ë ±Û·Î¹ú ±â¾÷ÀÌ Àüü Ãâ¿øÀÇ 59%¸¦ Â÷ÁöÇϰí ÀÖ´Ù. [ºÙÀÓ 1].  

¼¼ºÎ ±â¼úº°·Î´Â, °øÁ¤±â¼ú 32%, ³ë±¤ÀåÄ¡ ±â¼ú 31%, ¸¶½ºÅ© 28%, ±âŸ 9%·Î ºÐÆ÷µÇ¾î ÀÖ´Ù. °øÁ¤±â¼ú ºÐ¾ß¿¡¼­´Â »ï¼ºÀüÀÚ 39%, TSMC(Óæ) 15%·Î µÎ ±â¾÷ÀÇ Ãâ¿øÀÌ 54%¸¦ Â÷ÁöÇÑ´Ù. ¸¶½ºÅ© ºÐ¾ß¿¡¼­´Â ¿¡½º¿£¿¡½ºÅØ(ùÛ) 28%, È£¾ß(ìí) 15%, ÇѾç´ë 10%, ¾Æ»çÈ÷°¡¶ó½º(ìí) 10%, »ï¼ºÀüÀÚ 9% ¼øÀÌ´Ù. [ºÙÀÓ 2] 

ƯÇãû Ãֹ̼÷ ¹ÝµµÃ¼½É»ç°ú Æ¯ÇãÆÀÀåÀº ¡°EUV ³ë±¤°øÁ¤ ¹× ¸¶½ºÅ© ºÐ¾ß¿¡¼­ ¿ì¸®³ª¶ó ±â¾÷¤ýÇа谡 ¼±ÀüÇϰí ÀÖÀ¸¸ç 4Â÷ »ê¾÷Çõ¸í°ú ÇÔ²² °í¼º´É¤ýÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¸¦ À§ÇØ EUV ³ë±¤±â¼úÀÌ ´õ¿í Áß¿äÇØÁú °Í¡±À̸砡°³ë±¤ÀåÄ¡ ºÐ¾ß¿¡ À־µµ ±â¼ú ÀÚ¸³À» À§ÇØ ¿¬±¸°³¹ß°ú ÇÔ²² À̸¦ º¸È£ÇÒ ¼ö Àִ °­·ÂÇÑ ÁöÀç±Ç È®º¸°¡ ÇÊ¿äÇÏ´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. 
÷ºÎÆÄÀÏ PDF ÆÄÀÏ[ƯÇãû] 10³ª³ëÀÇ º®, ±ØÀڿܼ±(EUV)À¸·Î ¶Õ´Â´Ù (¼öÁ¤).pdf

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