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정밀화학분야 전문가 초청 세미나
담당부서
담당자
연락처
작성일
1998-11-11
조회수
8753
'98년도 우리국 업무계획에 반영된 심사수준 향상도모를 위한 첨단분야
기술전문가 초청교육 과 관련하여 반도체용 감광재료 분야의 전문가 초청
세미나를 아래와 같이 실시코자합니다.

- 아 래 -

1. 일시 및 장소
o 일 시 : 1998. 11. 12 (목) 14:00-16:00
o 장 소 : 15층 대회의실

2. 세미나 주제 및 발표자
o 주 제 : ArF 포토레지스트의 원리 및 연구개발 동향
o 발표자 : 현대전자산업(주) 선행기술연구소 과장 정 재 창 박사
o 내 용
- 주요 감광제 개발 업체의 연구성과 개요
- ArF 포토레지스트와 기존의 i-line 및 KrF 포토레지스와의 원리적 차이
- 난해성 극복방안 모색
- 향후 연구개발 방향

3. 세미나 세부시간 계획
o 14:00-14:10 인사말
o 14:10-15:20 강연
o 15:20-16:00 질의응답
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