┌─────────────────────────────────┐
│반도체 제조용 초정밀 적산 유량계를 삼성전자와 국내 중소벤처기업인 │
│SEBA에서 공동으로 개발하여 1천억원 규모의 이분야 국내시장의 국 │
│산 대체가 가능하고 국내 초정밀 계측분야의 기술개발 및 산업화에 상 │
│당한 파급효과가 예상된다. │
└─────────────────────────────────┘

반도체 제조 공정은 웨이퍼의 세정 및 박막 증착, 건식 식각 등의 기본적인
공정을 여러번 반복하여 거치게 되는데 이때마다 각종 초순수 및 화학약품
등을 많이 이용하고 있으며 반도체 제조의 특성상 이때 이용되는 초순수나
화학약품의 사용량, 즉 유량을 매우 정밀하게 조절할 수 있어야 함.

반도체 공정에서 사용되는 이러한 정밀한 유량계는 현재까지 대부분 외국의
장비회사에서 사용하는 외국산을 사용하고 있어서 국내의 기술은 전무한 상
태였음.


최근 삼성전자는 국내 중소벤처기업인 SEBA와 공동으로 반도체 제조용 초
정밀 적산 유량계를 개발하여 본격적인 양산에 나설 채비를 서두르고 있음.
이 제품은 특수제작한 터빈 베어링을 채용하여 내구성을 높이고 마찰저항을
최소화하였으며 사이클론 고정터빈과 회전로터의 2중구조를 채택하여 압력
및 유량변화에 강하고 특히 0.3 리터급 저유량 대역에서 오차율 0.3% 이하
의 초정밀 유량 제어기능을 구현함.

이번 기술개발과 관련된 각종 핵심기술을 삼성전자와 SEBA 공동으로 특허
출원을 하는 중에 있으며 이 기술의 개발로 1천억원 규모의 이분야 국내시
장의 국산대체가 가능하고 아울러 국내의 액체 정량 제어장치 및 초정밀 계
측분야 기술개발 및 산업화에 상당한 파급효과를 줄 것으로 기대됨.


* 문의 : 심사4국 반도체(1)심사담당관실 오제욱사무관. 전화 042)481-5731