현재의 박막트랜지스터를 이용한 TFT-LCD 모니터 등에서는 비정질 실리콘으로 만들어지는 박막트랜지
스터를 사용하고 있다. 그러나, 빠른 응답 속도가 요구되는 동영상의 재현에는 한계가 있다. 비정질
실리콘 박막트랜지스터 대신에 저온에서 제작되는 폴리 실리콘 박막트랜지스터를 이용하게 되면 양호
한 동영상 특성을 가지는 TV, LCD 모니터의 제작이 가능하게 된다. 또한, 저온 다결정질 실리콘 TFT
기술을 적용하면 하나의 유리기판 위에 음성, 디스플레이, 정보처리, 기억, 입출력 등의 여러 가지
기능을 하는 전자 부품을 하나의 유리기판 위에 집적함으로써 고신뢰도의 노트북 컴퓨터, PDA, 테블
릿 PC 등의 제작도 가능해진다.



목차



1. 비정질 실리콘에서 폴리 실리콘 박막트랜지스터로의 전환

2. 저온 폴리 실리콘의 형성방법

3. 저온 폴리 실리콘 TFT-LCD 업체 동향

4. 저온 폴리 실리콘 박막트랜지스터 관련 특허 출원동향

5. 향후 전망


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* 문의 : 심사 4 국 반도체2과 사무관 김관식, 전화 042-481-5751