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국내 반도체, 차세대 광원기술로 나노시대를 연다
담당부서
반도체1심사담당관실
연락처
작성일
2003-03-24
조회수
4823
* 주요 내용

- 10nm이하 회선폭의 반도체 제조가 가능한 차세대 광원(X선, 전자빔 등)기술 관련
특허출원 동향 분석

* 세부 내용은 첨부파일을 참조하여 주시기 바랍니다.

* 문의 : 심사4국 반도체1심사담당관실 사무관 이선택, 전화 042-481-5980
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