- 황사관련 오염방지기술 특허출원 증가 -


o 올봄 극심한 황사가 예상되면서, 반도체 업계도 비상이 걸렸다. 황사로 인해 고도의 정밀성이 요
구되는 반도체 공정에 치명적인 결함이 예상되기 때문이다.

o 반도체 업계는 최근 5년간 황사피해를 줄이기 위해 청정공기 공급설비를 강화하고, 클린룸에 들
어갈 때 하는 에어샤워 시간을 늘리고 에어-건(air-gun)을 설치하여 출입자의 옷에 묻을 수 있는 미
세먼지를 제거하는 등의 대책마련에 고심하고 있어, 금년에도 이와 관련된 특허출원이 크게 증가할
것으로 보인다.

o 특허청에 의하면, 황사피해를 없애는 기술과 관련된 반도체 업계의 출원은 1999년 16건, 2000년
25건, 2001년 29건, 2002년 26건, 2003년 14건으로, 환경부에서 발표한 황사발생일수인 1999년 6일,
2000년 10일, 2001년 27일, 2002년 16일, 2003년 3일에 추세적으로 비례하고 있다.

o 반도체 업계에서 현재 출원하고 있는 황사퇴치 관련기술은 크게 공정실로 유입되는 기체의 오염
을 방지하는 기술, 출입자 및 반입자재에 의한 오염을 방지하는 기술, 웨이퍼 수납용기의 오염을 방
지하는 기술로 나눌 수 있다.

- 공정실로 유입되는 기체오염을 방지하는 기술은 깨끗한 외부 공기를 흡입하기 위해 송풍장치,
다중 필터와 이온성분 및 냄새까지 제거하는 필터기능향상 기술로 지난 5년간 39건이 출원되었으며,

- 출입자 및 반입자재에 의한 오염을 방지하는 기술은 출입구에 들어오는 인체를 감지하여 송풍장
치가 동작되는 에어샤워와, 반입자재에 묻은 미세먼지를 제거하는 에어-건 및 에어노즐 기술로 51건
이 출원되었고,

- 웨이퍼 수납용기의 오염방지 기술은 반도체 웨이퍼가 수납된 반송박스를 클린룸 내에서 공정장
치로 반입, 반출할 때 오염을 방지하는 카세트 및 캐리어에 의한 수납과 반송방법으로 20건이 출원되
었다.

o 올해는 황사가 극심할 것으로 보여 반도체 생산라인 관련 오염방지기술 출원이 어느 때보다 증가
할 것으로 보인다.



<첨부＞황사를 막기 위한 반도체 업계의 출원동향 등이 포함된 보도자료 1부

* 문의 : 전기전자심사국 반도체심사담당관실 사무관 김교홍, 전화 042-481-8136