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반도체 테스트장비-MEMS
담당부서
전기전자심사국
연락처
1111-1234
작성일
2004-10-04
조회수
3388
MEMS(Micro Electro Mechanical System : 초정밀 전자기계) : 반도체공정기술과 미세가공기술을 이용해 실리콘 기판(웨이퍼)를 수 μm 수준의 초미세 구조물이나 장치 등을 제작하고 시스템화하는 기술
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