-단결정 성장 특허출원 기술동향-

지구촌은 21C에 접어 들어 디지털 지식정보화와 유비쿼터스 사회로의 전환이 가속화되고 있다. 이의 핵심인 반도체 산업은 세계경제의 주된 성장 동력원이 될 것이며, 반도체 산업의 지속적인 발전을 위해서는 무엇보다도 끊임없는 최첨단 기술개발이 절실히 필요하다. 특히, 최근 들어 차세대 반도체 산업의 급성장으로 인해 결함이 존재하지 않는 단결정(single crystal) 제조 및 성장에 관련된 특허출원이 증가하고 있다.

단결정이란 결정을 이루는 원자 또는 분자 전체가 일정한 결정축을 따라 규칙적으로 배열된 고체를 뜻하며, 이것을 만드는 방법으로는 녹은 액체상(相)속에 단 하나의 고체의 핵(核)을 만들고 이것을 중심으로 하여 성장시키는 것이 일반적이다. 즉, 용융액 표면에 고체의 작은 씨(seed)를 담그고, 이것을 천천히 끌어올려, 이 작은 씨와 같은 결정 방향을 가진 단결정 막대기(ingot)를 만드는 방법이다.

단결정은 재료에 따라 압전성, 투광성, 발광성 등과 같은 물성을 가지고 있기 때문에 진동자 및 레이저 등에도 사용되지만, 주로 사용되는 곳은 반도체 웨이퍼 분야이다.

단결정 성장기술관련 특허출원동향을 살펴보면,

단결정 성장기술관련 특허출원은 2000년부터 2005년까지 6년간 총 582건의 출원이 있었다. 2000년에 85건이었던 출원은 꾸준히 증가하여 2004년 이후에는 년간 100건을 상회하고 있다.

- 총 출원 582건 중 외국인의 출원은 359건인 61.7%, 내국인 출원 223건인 38.3%를 나타내고 있으며, 특히 내국인 출원은 2000년에 27건이었으나 2003년 36건, 2005년 46건으로 증가 추세에 있어 이는 내국인의 단결정 성장기술에 대한 높은 관심이 반영된 것으로 보인다. (붙임1)

단결정 성장기술관련 특허출원을 기술분야별로 살펴보면, 2000년부터 2005년까지 6년간 총 582건 중 액상 단결정 성장분야는 292건인 50.2%를 나타내고 있으며, 그 뒤로 균질 단결정 물질분야가 178건인 30.6%, 기상 단결정 성장분야는 65건인 11.2%를 보이고 있다. (붙임2)

향후 전망

반도체는 컴퓨터, 휴대전화로부터 디지털 가전기기, 자동차, 로봇, 네트워크 기기 등에 이르기까지 그의 사용은 확대되고 있다.

반도체 시장의 확대는 고품질의 단결정이 요구되고 이는 단결정 및 반도체 웨이퍼를 제조하는 기업들로 하여금 종래의 방법보다 새로운 단결정 성장의 기술개발을 강요하고 이에 따라 개발된 기술에 대한 출원도 지속적으로 증가할 것으로 예상된다.

붙임 : [연도별 단결정 성장기술 관련특허출원 동향] 이 포함된 보도자료 1부.
문의 : 화학생명공학심사본부 무기화학심사팀 사무관 김준규 (042-481-8304)